压电纳米定位台是以压电陶瓷做为基础元件驱动的压电平移台,X 轴,XY 轴,XYZ 轴多维压电平移台,驱动形式包含压电陶瓷直驱式以及机机构放大式两种驱动形式。相同驱动电压下,机构放大平台的位移是直驱平台位移的几倍至几十倍;直驱平台的响应速度要比机构放大平台的速度快。压电平移台的运动行程范围较大可达300μm,且它具有纳米级分辨率以及毫秒级的相应时间。 在精密定位领域中发挥着至关重要的作用,且应用非常广泛,例如显微扫描、光路调整、纳米操控技术、CCD 图像处理、激光干涉、纳米光刻、生物科技、光通信、纳米测量、显微操作、纳米压印等。 P63.XY直驱压电平移台,是二维XY轴运动压电定位台,采用压电陶瓷直驱机构的设计原理,具有体积小、无摩擦、响应速度快等特点,配置高精度传感器,可以实现纳米级分辨率、定位精度具有较高的可靠性,压电平移台在精密定位领域中发挥着至关重要的作用。 特性 ? 较大位移8μm/轴 ? 电阻与电容传感器可选 ? 二维运动无耦合 ? 较大承载0.5kg P11二维Z轴压电平移台,包含直驱机构与放大机构两种驱动形式,位移行程从5.5μm至110μm多种型号可选,产品外形体积小巧,结构紧凑,具有纳米级定位精度及亚纳米级分辨率,是二维精密定位应用的可以选择。 特点: ? XZ轴二维运动 ? 电阻与电容传感器可选 ? 较大位移110μm ? 二维运动无耦合 ? 响应速度快 XP-611二维XY轴压电平移台,包含直驱机构与放大机构两种驱动形式,位移行程从5.5μm至110μm多种型号可选,产品外形体积小巧,结构紧凑,具有纳米级定位精度及亚纳米级分辨率,是二维精密定位应用的可以选择。 特点: ? XY轴二维运动 ? 电阻与电容传感器可选 ? 较大位移100μm ? 二维运动无耦合 ? 响应速度快